山本 治郎: "Digital Etching Study and Fabrication of Fine Si Lines and Dots" Thin Solid Films. 225. 124-129 (1993)
山本 治郎: "Digital Etching Study and Fabrication of Fine Si Lines and Dots" Thin Solid Films. 225. 124-129 (1993)
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Jiro Yamamoto：“精细硅线和点的数字蚀刻研究和制造”固体薄膜。225. 124-129 (1993)
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