湯本 久美, 山崎 善裕, 李 松姫: "電子シャワー蒸着法による鉄の炭化、窒化、酸化膜の作製"プラズマ応用科学. 8. 51-58 (2000)

湯本 久美, 山崎 善裕, 李 松姫: "電子シャワー蒸着法による鉄の炭化、窒化、酸化膜の作製"プラズマ応用科学. 8. 51-58 (2000)
复制标题

Kumi Yumoto、Yoshihiro Yamazaki、Song Hee Lee:“通过电子簇射蒸发法制备碳化铁、氮化物和氧化物薄膜”等离子应用科学,8. 51-58 (2000)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献