モンテカルロシミュレーションを用いた二次電子収率によるRuO2/Ruの酸化膜厚推定の試み
モンテカルロシミュレーションを用いた二次電子収率によるRuO2/Ruの酸化膜厚推定の試み
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尝试使用蒙特卡罗模拟利用二次电子产率来估计 RuO2/Ru 氧化膜厚度
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
井上雅彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
植垣悠馬;井上雅彦
