雑賀憲昭、山本英樹: "線幅可変レーザビーム描画装置" 光学技術コンタクト. 32. 18-27 (1994)

雑賀憲昭、山本英樹: "線幅可変レーザビーム描画装置" 光学技術コンタクト. 32. 18-27 (1994)
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Noriaki Saiga、Hideki Yamamoto:“线宽可变激光束写入装置”光学技术接触。 32. 18-27 (1994)

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