SiC and nanocrystalline diamond coating on Si substrates fabricated by microwave plasma CVD-猫眼课题宝

微波等离子体 CVD 在硅基体上制备碳化硅和纳米晶金刚石涂层

DOI：

发表时间：

2009

期刊：

Proc.of 16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

Yoshimine Kato;etc.