Epitaxial growth of Cubic SiC Film on Si Crystal with Curved Surface
Epitaxial growth of Cubic SiC Film on Si Crystal with Curved Surface
复制标题
曲面硅晶体上外延生长立方碳化硅薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Tatsuro Miyasato
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yong Sun;Tatsuro Miyasato
