エピタキシャル PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 基板上への 2D 超音波センサアレイの製作とイメージング

エピタキシャル PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 基板上への 2D 超音波センサアレイの製作とイメージング
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外延 PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 衬底上二维超声传感器阵列的制作与成像

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
石田誠
石田誠
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
赤井大輔 ;與木隆弘 ;沼田泰幸 ;尾崎勝弥 ;岡田長也;樋口一樹 ;石田誠

文献摘要

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