キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化 II
キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化 II
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注入氙离子的硅退火引起的结构变化 II
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野々村 修一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北川 淳嗣;藤田 詩織;羽渕 仁恵;飯田 民夫;大橋 史隆;伴 隆幸;久米 徹二;野々村 修一
