ＩＴＯターゲット取扱い者のマスク面体顔面接触部位におけるインジウム付着量について
ＩＴＯターゲット取扱い者のマスク面体顔面接触部位におけるインジウム付着量について
复制标题
关于ITO靶材处理机掩模面接触区域沉积的铟量
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
宮内博幸 友松萌絵 塩田航大 山本忍 青木隆昌 田中茂
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
水口 徹;石貫 智裕;久野 芳佳;大毛 宏喜;内野 基;北川 雄一;小林 昌宏;小林 求;清水 潤三;鈴木 克典;土師 誠二;毛利 靖彦;山下 千鶴;吉田 雅博;真弓 俊彦;宮内博幸 友松萌絵 塩田航大 山本忍 青木隆昌 田中茂
