A new bifunctional topography and current probe for scanning force microscope testing of integrated circuits
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DOI：
10.1016/s0026-2714(99)00133-x
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发表时间：
1999-06
影响因子：
1.6
通讯作者：
S. Bae;Klaus Schiemann;W. Mertin;E. Kubalek;M. Maywald
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Bae;Klaus Schiemann;W. Mertin;E. Kubalek;M. Maywald
