Diffraction-grating beam splitter, interferometric-lithography nanopatterning with a multilongitudinal-mode diode laser
Diffraction-grating beam splitter, interferometric-lithography nanopatterning with a multilongitudinal-mode diode laser
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衍射光栅分束器，使用多纵模二极管激光器进行干涉光刻纳米图案化
DOI：
10.1116/6.0001377
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发表时间：
2021
影响因子：
1.4
通讯作者：
Brueck, S. R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sasidharan, Vineeth;Neumann, Alexander;Brueck, S. R.
