Optimization of Piezoresistive Cantilever Array Sensors Towards Highly Sensitive Membrane-type Surface stress Sensors (MSS)
Optimization of Piezoresistive Cantilever Array Sensors Towards Highly Sensitive Membrane-type Surface stress Sensors (MSS)
复制标题
压阻悬臂阵列传感器优化以实现高灵敏度薄膜型表面应力传感器 (MSS)
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H.Rohrer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
G.Yoshikawa;T.Akiyama;S.Gautsch;P.Vettiger;H.Rohrer
