PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価
PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価
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使用 PDMS 复制模具评估 UV 纳米压印的图案缺陷和脱模力
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣島洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木健太;尹成園;廣島洋
