サファイアCMPにおける水酸化フラーレン混合スラリーに関する研究̶コロイダルシリカスラ リーをベースとした研磨特性の検証̶
サファイアCMPにおける水酸化フラーレン混合スラリーに関する研究̶コロイダルシリカスラ リーをベースとした研磨特性の検証̶
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蓝宝石CMP中氢氧化富勒烯混合浆料的研究—基于胶态二氧化硅浆料的抛光性能验证—
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
パナートカチ ョーンルンル アン,烏谷恵里香,木村景一,
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齊藤貴志 鈴木恵友;パナートカチ ョーンルンル アン,烏谷恵里香,木村景一,
