UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究

UVレーザを用いた微粒子トラップによる微細加工に関する研究
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紫外激光粒子捕获微加工研究

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
日本機械学会 第6回生産加工・工学機械部門講演会講演論文集 (in print)
影响因子：
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通讯作者：
林 照剛
林 照剛
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
日高敏揮;高谷裕浩;三好隆志;林 照剛

文献摘要

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