A novel Particle Sizing method for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe
A novel Particle Sizing method for Nano-abrasives in CMP Slurry by Using Fluorescent Nano Probe
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一种利用荧光纳米探针对 CMP 浆料中纳米磨料进行粒度测量的新方法
DOI：
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发表时间：
2017
影响因子：
1.1
通讯作者：
and Syuhei Kurokawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Terutake Hayashi;Toshiki Seri;and Syuhei Kurokawa
