輪郭形状測定のための光触針式変位センサの開発
輪郭形状測定のための光触針式変位センサの開発
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开发用于轮廓测量的光学触针位移传感器
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳 和久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深津拡也;柳 和久
