Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor
Driving of micromirror and simultaneous detection of rotation angle using integrated piezoresistive sensor
复制标题
使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Sasaki;M.Tabata;K.Hane
