エアロゾルデポジション製膜中における発光現象
エアロゾルデポジション製膜中における発光現象
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气溶胶沉积成膜过程中的发光现象
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
明渡純
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松林康仁;伊藤剛仁;篠田健太郎;寺嶋和夫;明渡純
