表面ステップの移動を制御するマスクパターンを用いたGaAs MCE横縦比の向上

表面ステップの移動を制御するマスクパターンを用いたGaAs MCE横縦比の向上
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使用掩模图案控制表面台阶移动来提高 GaAs MCE 纵横比

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
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通讯作者:
水野陽介,冨田将史,神林大介,高倉宏幸,岩川宗樹,安井亮太,丸山隆浩,成塚重弥
水野陽介,冨田将史,神林大介,高倉宏幸,岩川宗樹,安井亮太,丸山隆浩,成塚重弥
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
水野 陽介;冨田 将史;高倉 宏幸;岩川 宗樹;神林 大介;丸山 隆浩;成塚 重弥;高倉宏幸,岩川宗樹,神林大介,冨田将史,水野陽介,山田純平,安井亮太,丸山隆浩,成塚重弥;水野陽介,冨田将史,神林大介,高倉宏幸,岩川宗樹,安井亮太,丸山隆浩,成塚重弥

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