光束斜入射的折反射组合光学系统的像差计算

光束斜入射的折反射组合光学系统的像差计算
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DOI:
10.5768/jao202142.0201005
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发表时间:
2021
期刊:
应用光学
影响因子:
--
通讯作者:
吕丽军
吕丽军
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
赵小楠;吕丽军

文献摘要

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基于平面对称光栅反射镜系统的像差理论,根据光学元件材料折射率对成像光束波像差进行修正,将像差理论扩展到平面对称折射光学系统,使得该理论可应用于光束斜入射的折反射组合光学系统的像差计算;指出在折反射组合光学系统中考虑物像方空间折射率的关系,以及入射角方向的定义,使得波像差的计算表达式保持统一;应用扩展后的像差理论对折反射椭球镜面形检测光学系统进行像差分析计算,并与Zemax光线追迹结果进行对比,验证波像差理论的有效性。该像差理论为光束斜入射的折反射组合光学系统的设计、像质评价及优化提供了有效的分析手段。