The application of Si lateral expansion induced by ion beam implantation in miro-/nanostructure modification
The application of Si lateral expansion induced by ion beam implantation in miro-/nanostructure modification
复制标题
离子束注入诱导硅横向膨胀在微纳结构改性中的应用
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前田一樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xiaowei Guo;百田佐多生;新田紀子;前田一樹
