HVPE成長を用いた微細加工Si基板上半極性GaN自立基板の作製
HVPE成長を用いた微細加工Si基板上半極性GaN自立基板の作製
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使用 HVPE 生长在微加工 Si 衬底上制造半极性 GaN 自支撑衬底
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
天野浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平林了;光成正;谷川智之;本田善央;山口雅史;天野浩
