数nm-CMOS素子用二次元Si層の検討(Ⅷ):酸化膜応力によるバンド変調

数nm-CMOS素子用二次元Si層の検討(Ⅷ):酸化膜応力によるバンド変調
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几种nm-CMOS器件的二维Si层研究(八):氧化膜应力引起的能带调制

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
水野智久
水野智久
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
鈴木佑弥, 長嶺由騎,山中正博,青木孝,前田辰郎;水野智久

文献摘要

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