マイクロ片持ちはりの構造‐流体‐静電界連成有限要素解析と実験との比較
マイクロ片持ちはりの構造‐流体‐静電界連成有限要素解析と実験との比較
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微悬臂梁结构-流体-静电场耦合有限元分析及与实验对比
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宿輪雄介,石原大輔,堀江知義,二保知也,馬場昭好
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomo Takeda;Yasuhide Shindo;Fumio Narita;東藤正浩,但野茂;宿輪雄介,石原大輔,堀江知義,二保知也,馬場昭好
