Photoluminescence Evaluation of Defects Generated during Temperature Ramp-up Process of SiGe-On-Insulator virtual Substrate Fabrication

Photoluminescence Evaluation of Defects Generated during Temperature Ramp-up Process of SiGe-On-Insulator virtual Substrate Fabrication
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绝缘体上硅锗虚拟衬底制造升温过程中产生的缺陷的光致发光评估

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Proc.8th Int.Conf.on Solid-State and Integrated-Circuit Technology Part3
影响因子:
--
通讯作者:
H.Nakashima
H.Nakashima
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
D.Wang;S.Ii;K.Ikeda;H.Nakashima;H.Nakashima

文献摘要

参考文献

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DOI: 10.1063/1.369550
发表时间: 1999
影响因子: 3.2
作者:
N. Usami;K. Leo;Y. Shiraki
通讯作者: Y. Shiraki