超臨界二酸化炭素流体中における有機金属化合物の分解および酸化物薄膜の堆積
超臨界二酸化炭素流体中における有機金属化合物の分解および酸化物薄膜の堆積
复制标题
超临界二氧化碳流体中有机金属化合物的分解和氧化物薄膜的沉积
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
幸田清一郎
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
内田寛;加納富由樹;助川太一;由井和子;幸田清一郎
