Reactive Evaporation of Metal Wire and Micro-Deposition of Metal Oxide using an Atmospheric-Pressure Reactive Microplasma Jet

Reactive Evaporation of Metal Wire and Micro-Deposition of Metal Oxide using an Atmospheric-Pressure Reactive Microplasma Jet
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使用大气压反应微等离子体射流进行金属丝的反应蒸发和金属氧化物的微沉积

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Japanese Journal of Applied Physics 45-10B
影响因子:
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通讯作者:
T.Sasaki et al.
T.Sasaki et al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y.Shimizu;T.Sasaki et al.

文献摘要

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