マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターニング技術の開発 (第1報) -静電引力による微小流体吐出挙動の評価-

マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターニング技術の開発 (第1報) -静電引力による微小流体吐出挙動の評価-
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利用微针阵列的无掩模精细电镀图案技术的开发(第1次报告)-基于静电引力的微流体喷射行为的评价-

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
ほか
ほか
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
岡亮太郎;ほか

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