Development of Nanometer Positioning System Driven by Force Operational Water Hydraulic Actuator with Rigid Guide-way, Simulation………
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刚性导轨力操作水压执行器驱动的纳米定位系统开发、仿真…………
DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsukahara;S.;Kanai;A.;et al.
