SiN薄膜マイクロエレメントの強度特性と寸法効果
SiN薄膜マイクロエレメントの強度特性と寸法効果
复制标题
SiN薄膜微元件的强度特性及尺寸效应
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
箕島弘二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kaori Kato;Takayuki Aoki;Shiro Kubota;Masatake Yoshida;箕島弘二
