Aspect Ratio Dependence of the Resistivity of Fine Line Cu lnterconnects
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复制标题
细线铜互连电阻率与纵横比的关系
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chonan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.P.;Khoo・J.;Onuki・T.;Nagano・Y.;Chonan
