Single crystal diamond MEMS.
Single crystal diamond MEMS.
复制标题
单晶金刚石MEMS。
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Meiyong Liao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Minseok Kim;Tatsuki Iwata;Kento Umeki;Jun-ichi Takada;Shigenobu Sasak;Meiyong Liao
