Analyses of surface reactions and damage formation in plasma etching processes: a study based on beam experiments and molecular dynamics simulation
Analyses of surface reactions and damage formation in plasma etching processes: a study based on beam experiments and molecular dynamics simulation
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等离子刻蚀过程中表面反应和损伤形成的分析：基于束流实验和分子动力学模拟的研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Suzuki;T. Horinouchi and C. Furusawa;浜口智志
