圧電MEMS超音波センサ用ダイアフラムの静的撓み量が振動モードに与える影響
圧電MEMS超音波センサ用ダイアフラムの静的撓み量が振動モードに与える影響
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压电MEMS超声波传感器膜片静态偏转对振动模态的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西岡知記
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hendra Adinanta;Hirotaka Kato;Takeo Maruyama;小林 雅典， 辻 寧英;西岡知記
