Poly-Si/PVD-TiNゲートFinFET電気特性のFin高さ依存性
Poly-Si/PVD-TiNゲートFinFET電気特性のFin高さ依存性
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多晶硅/PVD-TiN 栅极 FinFET 电气特性的鳍片高度依赖性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
林田哲郎;他
