TLZ法によるSiGe結晶育成中のメルト内対流効果
TLZ法によるSiGe結晶育成中のメルト内対流効果
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使用 TLZ 方法生长 SiGe 晶体过程中熔体的对流效应
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
塚田隆夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木下 恭一;荒井 康智;稲冨裕光;塚田隆夫
