プラズマ化学気相体積中の体積位置による膜中の化学結合状態の変化
プラズマ化学気相体積中の体積位置による膜中の化学結合状態の変化
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薄膜中化学键状态的变化取决于等离子体化学气相体积中的体积位置
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松本 貴士
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石 侑叶;桒田 篤哉;中居 辰夫;佐々本 凌;篠原 正典;田中 諭志;松本 貴士
