A Non-Distructive Resoneance Frequency Method to determine Effective young's Modulus of 3-Dimentional Multilayered Ti/Au Micro-cantilevers Toward Highly Sensitive MEMS Accerelometer
A Non-Distructive Resoneance Frequency Method to determine Effective young's Modulus of 3-Dimentional Multilayered Ti/Au Micro-cantilevers Toward Highly Sensitive MEMS Accerelometer
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一种确定高灵敏度 MEMS 加速度计 3 维多层 Ti/Au 微悬臂梁有效杨氏模量的非破坏性谐振频率方法
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tso-Fu Mark Chang.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masato Sone;Hitomi Watanabe;Kyotaro Nitta;Hideaki Nakajima;Tomoyuki Kurioka;Chun-Yi Chen;Parthojit Chakraborty;Daisuke Yamane;Hiroyuki Ito;Katsuyuki. Machida;Yoshihiro Miyake;Tso-Fu Mark Chang.
