スピンオンシリコン酸化膜熱処理温度の無水フッ化水素エッチングへの影饗
スピンオンシリコン酸化膜熱処理温度の無水フッ化水素エッチングへの影饗
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旋涂氧化硅薄膜热处理温度对无水氟化氢刻蚀的影响
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村信貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤洋司;中村信貴
