Three-dimensional nanostructures enabled by customised voltage waveform-induced local anodic oxidation lithography

Three-dimensional nanostructures enabled by customised voltage waveform-induced local anodic oxidation lithography
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通过定制电压波形诱导局部阳极氧化光刻实现三维纳米结构

DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Conference Proceedings - 22nd International Conference and Exhibition, EUSPEN 2022
影响因子：
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通讯作者：
Gao J.
Gao J.
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Gao J.

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