形状に基づくレジストレーション点計測誤差推定および計測点の最適化
形状に基づくレジストレーション点計測誤差推定および計測点の最適化
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基于形状的配准点测量误差估计和测量点优化
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
光石衛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
斎藤季;中島義和;杉田直彦;藤原一夫;阿部信寛;尾崎敏文;鈴木正彦;守屋秀繁;井上貴之;蔵本孝一;中島義雄;光石衛
