Resin Elongation Phenomenon of Polystyrene Nanopillars in Nanoimprint Lithography

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纳米压印光刻中聚苯乙烯纳米柱的树脂伸长现象

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys.
影响因子:
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通讯作者:
他
他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Kuwabara;他

文献摘要

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