InAs/AlGaSbヘテロ構造の分子線エピタキシャル成長と高誘電率ゲート材料を用いたHFETの製作

InAs/AlGaSbヘテロ構造の分子線エピタキシャル成長と高誘電率ゲート材料を用いたHFETの製作
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使用 InAs/AlGaSb 异质结构和高介电常数栅极材料的分子束外延生长制造 HFET

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
佐々誠彦
佐々誠彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
森口航平;西坂和一;前元利彦;尾形健一;佐々誠彦

文献摘要

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