Ru膜成膜装置、金属性膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造
Ru膜成膜装置、金属性膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造
复制标题
Ru膜沉积设备、金属膜设备、Ru阻挡金属层、布线结构
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
