A Two-DOF MEMS Actuator Utilizing a Multi-pole Magnetized Permanent Magnet
A Two-DOF MEMS Actuator Utilizing a Multi-pole Magnetized Permanent Magnet
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采用多极磁化永磁体的二自由度 MEMS 致动器
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kenichi Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Noriei AZUMA;Shunya TANAKA;Ryogen FUJIWARA;Tadahiko SHINSHI;Kenichi Suzuki
