Observation of fluorine-vacancy complexes in silicon
Observation of fluorine-vacancy complexes in silicon
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硅中氟空位配合物的观察
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Law
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Simpson;Z. Jenei;P. Asoka;R. Robison;M. Law
我们展示了通过正电子湮没光谱获得的氟与硅中的空位络合的直接证据。浮区硅片和直拉硅片都注入了...
We show direct evidence, obtained by positron annihilation spectroscopy, for the complexing of fluorine with vacancies in silicon. Both float zone and Czochralski silicon wafers were implanted with ...