Novel Crystal Phase of Tin Nitride Synthesized by Reactive Sputtering

Novel Crystal Phase of Tin Nitride Synthesized by Reactive Sputtering
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反应溅射合成氮化锡的新晶相

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
Mater. Sci. Technol. Jpn.
影响因子:
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通讯作者:
Osamu TAKAI
Osamu TAKAI
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Yasushi INOUE;Osamu TAKAI

文献摘要

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