繊維配向したTiN薄膜中の残留応力の低角入射X線法および散乱ベクトル法による測定
繊維配向したTiN薄膜中の残留応力の低角入射X線法および散乱ベクトル法による測定
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采用小角入射 X 射线法和散射矢量法测量纤维取向 TiN 薄膜中的残余应力
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中啓介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Shibayama;M.Kunieda;田中啓介
