Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響第1報:モデルと解析
Siウエハインフィード研削における切削軌跡密度と機械剛性の影響第1報:モデルと解析
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硅片进给磨削中切削轨迹密度和机床刚性的影响第 1 部分：模型与分析
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本武幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
周立波;光田孝仁;清水淳;田業氷;山本武幸
